日本产业技术综合研究所(以下简称“产总研”)碳纳米管应用研究中心成功开发了利用单层纳米管的3D集成碳纳米管部件。此次通过碳纳米管高密度排列的“CNT Wafer”开发，使基于光刻的微细加工技术的利用成为可能，这样就可在任意场所制造任意形状的电子部件构造。比如，在底板上集成1000个以上碳纳米管三维电子部件。另外，该研究所还成功地对这些电子部件构造进行了电力驱动，促进了碳纳米管三维电子部件的实用化。